Din is-sitwazzjoni hija komuni fuq is-siti tal-produzzjoni: klijent għandu ordni urġenti, li teħtieġ biss ftit għexieren ta 'għodod, iżda l-kapaċità tal-forn hija diversi eluf. Għandu jinxtegħel jew mitfi?
Biex tiffranka l-ħin, ħafna drabi l-għodda jitqiegħdu direttament fil-forn. Ir-riżultat? Differenza fil-kulur, qsim tal-film, jew saħansitra trattib tas-sottostrat wara l-ittemprar.
F'dan il-punt, it-tekniku ta 'spiss jaġġusta l-parametri, jiċċekkja l-gassijiet, u jissuspetta l-materjal fil-mira, iżda jinjora l-fattur l-aktar inconspicuous-il-forn huwa mgħobbi biżżejjed.
Illum, ser niddiskutu "assistenza divina" fil-kisi tal-għodda (speċjalment kisjiet sensittivi bħal DLC) li faċilment tiġi żbaljata b'ruttam tal-metall-it-tagħbija finta.
L-hekk-imsejħa "parametri tal-proċess" huma fil-fatt "parametri ta'-tagħbija sħiħa."
Ħafna inġiniera tal-kisi għandhom kunċett żbaljat li jekk jistabbilixxu l-vultaġġ, il-kurrent, il-pressjoni tal-gass u t-temperatura b'mod korrett, il-kwalità tal-kisi tkun konsistenti.
Dan huwa kompletament żbaljat.
Il-kisi tal-vakwu PVD huwa essenzjalment ekwilibriju dinamiku f'ambjent tal-plażma. Il-parametri kollha li ssettja (bħal kurrent bias u kurrent fil-mira) huma aġġustati abbażi ta '"tagħbija" issettjata minn qabel.
Meta l-forn ikun mimli, il-plażma "tagħlaq" b'mod ugwali eluf ta 'biċċiet tax-xogħol; imma x'jiġri meta l-forn ikun fih biss wieħed-għaxra tal-biċċiet tax-xogħol, minħabba l-istess densità tal-qawwa?
Il-plażma se tattakka bla waqfien il-ftit biċċiet tax-xogħol li fadal.
Qisu tuża nar li oriġinarjament kien maħsub biex issajjar borma tal-laħam, iżda issa biss jippermettilek issajjar żewġ slices; ir-riżultat inevitabbli huwa-il-laħam jinħaraq, u l-borma tista' saħansitra tinħaraq.
It-Tliet Funzjonijiet ewlenin tat-Tagħbijiet Manikini
Fil-kisi tal-għodda-high-end, speċjalment meta jiġi applikat id-DLC ħieles mill-idroġenu-jew kisi ta' ebusija-għoli, l-użu ta' tagħbijiet finta (holders tal-għodda mormija, attrezzaturi speċjalizzati, jew sostituti) mhuwiex għal skopijiet estetiċi, iżda għas-sopravivenza.
1. Stabbilizza "inerzja termali" biex tevita l-ittemprar tas-sottostrat
Il-konduzzjoni tas-sħana hija bil-mod ħafna f'ambjent vakwu; tistrieħ prinċipalment fuq ir-radjazzjoni.
Jekk ikun hemm ftit wisq biċċiet tax-xogħol fil-kamra tal-vakwu, il-kapaċità totali tas-sħana titnaqqas ħafna. Taħt l-istess qawwa tat-tisħin jew enerġija tal-bumbardament, ir-rata tat-tisħin tal-biċċa tax-xogħol tkun bħal rokit.
Konsegwenza: L-istrument tiegħek jista 'juri temperatura ta' 450 grad biss, iżda t-temperatura lokali tal-kantunieri li jaqtgħu jew it-truf tal-qtugħ tal-biċċa tax-xogħol tista 'diġà qabżet it-temperatura tat-tempra tal-azzar b'veloċità għolja-.
Riżultat: Il-kisi kien tajjeb, iżda l-ebusija tal-għodda naqset, u wassal biex tinkiser immedjatament mal-użu tal-klijent. L-iskop tat-tagħbija finta huwa li jaġixxi bħala "assorbitur tas-sħana" kbir, li jikkontrolla t-temperatura u jagħmel il-kurva tat-tisħin bla xkiel u maniġġabbli.
2. "Tqarraq" il-Provvista ta 'Enerġija għal Vultaġġ ta' Bias Stabbli
Il-provvisti tal-enerġija bias jeħtieġ li jiskopru l-impedenza tat-tagħbija waqt it-tħaddim.
Jekk ikun hemm ftit wisq biċċiet tax-xogħol, l-impedenza tat-tagħbija tvarja ħafna. In-netwerk li jqabbel il-provvista tal-enerġija jista 'ma jaħdimx bl-aħjar mod, u jista' saħansitra jikxef ta 'spiss "arki" falz, li jwassal għal waqfien frekwenti tal-enerġija-jew distorsjoni tal-forma tal-mewġ.
Konsegwenzi: Adeżjoni fqira tal-kisi, u anke pitting ikkawżat minn vultaġġ għoli istantanju li jkisser it-truf tal-biċċa tax-xogħol.
Riżultat: Billi żżid tagħbija finta, il-provvista tal-enerġija tara ambjent ta 'impedenza "familjari", li jirriżulta f'forma ta' mewġa ta 'output lixxa u stabbli.
3. It-titjib tad-distribuzzjoni tal-fluss tal-gass u d-densità tal-plażma (speċjalment DLC)
Il-kisi DLC (Djamant-bħal Karbonju) huma estremament sensittivi għall-istress intern.
Waqt id-depożizzjoni tal-film tal-karbonju, jekk it-tagħbija tkun baxxa wisq, jonji tal-karbonju żejjed m'għandhom imkien fejn imorru, li jwasslu għal rati ta 'depożizzjoni lokali eċċessivament rapidi u żieda qawwija fl-istress intern fi ħdan il-film.
Konsegwenzi: Il-film jista 'jixxaqqaq fil-vakwu qabel ma jħalli l-kamra, jew jitqaxxar awtomatikament wara li jitħalla għal diversi jiem wara li jitlaq mill-kamra.
Soluzzjoni: Tagħbija finta, billi tokkupa spazju, tissimula t-tfixkil tal-fluss tal-gass u l-konsum taħt kundizzjonijiet ta 'tagħbija sħiħa, u tiżgura li r-rata ta' konsum tal-gassijiet reattivi tinżamm fit-tieqa tal-proċess.
Tagħbija finta mhix "bott taż-żibel."
Peress li tagħbija finta hija tant importanti, ma tistax tarmi xi skrapp antik?
Dan huwa t-tieni żball komuni li jagħmlu ħafna fabbriki.
1. It-tagħbija finta għandha tkun "nadif." Ħafna operaturi sempliċiment jarmu blokki tal-ħadid imsadda jew jigs -mtebbgħin biż-żejt biex jimlew l-ispazju.
Dawn l-affarijiet maħmuġin, meta msaħħna f'vakwu, se jirrilaxxaw ammonti kbar ta 'fwar ta' l-ilma u fwar taż-żejt (outgassing).
Rakkomandazzjoni: Tagħbijiet finta għandhom ukoll jgħaddu minn proċess ta 'tindif standard, għall-inqas biex jiġi żgurat li huma ħielsa minn żejt u sadid.
2. Il-ġeometrija għandha tkun "simili".
Jekk qed tiksi mitħna tarf irqaq, it-tagħbija finta għandha idealment tkun ukoll oġġett simili ta' virga-forma.
Jekk tpoġġi pjanċa ċatta kbira bħala t-tagħbija finta, id-distribuzzjoni tal-kamp elettriku tagħha (l-effett tat-tarf) tkun kompletament differenti minn dik tal-virga irqaq, u tinterferixxi severament mal-uniformità tal-kisi tal-biċċa tax-xogħol fil-qrib.
