Fil-magni tal-kisi bil-vakwu tal-magnetron sputtering, il-materjal li għandu jiġi miksi jissejjaħ is-sottostrat, u l-materjal li jkun miksi jissejjaħ il-mira. Kemm is-sottostrat kif ukoll il-mira jgħixu fil-kamra tal-vakwu. Il-kisi ta 'evaporazzjoni tipikament jinvolvi t-tisħin tal-mira biex jevapora l-komponenti tal-wiċċ fil-forma ta' clusters atomiċi jew joni. Dawn il-komponenti evaporati mbagħad jiddepożitaw fuq il-wiċċ tas-sottostrat, u jiffurmaw film irqiq permezz ta' proċess ta'-formazzjoni ta' film (tkabbir ta'-struttura ta' gżira-struttura wandering-imxerred-saff).
Għall-kisi sputtering, jista 'jinftiehem sempliċement bħala l-użu ta' elettroni jew lejżers ta'-enerġija għolja biex jibbumbardjaw il-mira, sputtering komponenti tal-wiċċ fi gruppi atomiċi jew joni, li mbagħad jiddepożitaw fuq il-wiċċ tas-sottostrat, jgħaddu minn proċess ta 'formazzjoni ta' film- biex fl-aħħar mill-aħħar jiffurmaw film irqiq.
Proċeduri Operattivi: Operazzjoni tal-Kabinett tal-Kontroll
1. Ixgħel il-pompa tal-ilma u l-provvista tal-arja.
2. Ixgħel il-provvista tal-enerġija prinċipali.
3. Ixgħel il-qawwa għall-pompa li żżomm u l-gauge tal-vakwu. Issettja l-vacuum gauge fil-pożizzjoni V1 u stenna sakemm il-valur ikun inqas minn 10 qabel ma tipproċedi għall-pass li jmiss. Dan jieħu madwar 5 minuti.
4. Ixgħel il-pompa mekkanika għall--evakwazzjoni minn qabel. Ixgħel il-pompa turbomolekulari u ibdaha. Aqleb is-swiċċ tal-gauge tal-vakwu għal V2 u evakwa sakemm il-valur ikun inqas minn 2. Dan jieħu madwar 20 minuta.
5. Wara li l-qari tal-pompa turbomolekulari jilħaq 250, itfi l--evakwazzjoni minn qabel. Ixgħel il-forepump u l-valv tal-vakwu għoli biex tkompli tevakwa. Biss wara li tilħaq ċertu livell ta 'vakwu tista' tixgħel il-gauge tal-vakwu għoli fuq il-lemin u tosserva l-grad tal-vakwu. Il-qawwa tal-kanun ta 'l-elettroni tista' tinxtegħel biss wara li l-vakwu jilħaq 2 × 10⁻³.
Operazzjoni DEF-6B:
1. Qawwa Prinċipali.
2. Simultanjament Ixgħel Electron Gun Control I u Electron Gun Control II: Agħfas is-swiċċ tal-qawwa u d-dewmien għall-Electron Gun Control I. Id-dwal tad-dewmien, l-enerġija u l-protezzjoni se jdawwal. Wara tliet minuti, id-dwal tad-dewmien u tal-protezzjoni jintfew. Jekk il-bieba ta 'wara ma tkunx magħluqa sew jew ir-relay tal-fluss ta' l-ilma ma jaħdimx ħażin, id-dawl ta 'protezzjoni jibqa' mixgħul.
3. Qawwa fuq il-vultaġġ għoli. Il-vultaġġ għoli se jilħaq aktar minn 10KV. Aġġusta l-kurrent tar-raġġ għal madwar 200mA. Il-grilja tal-iskrin hija 20V/100mA, il-kurrent tal-filament huwa 1.2A, u l-kurrent tad-deflessjoni jvarja bejn 1 u 1.7A.
