1. Il-wiċċ tal-kamra se jkun kontinwament "miktub mill-ġdid"
Kull proċess PVD se jħalli traċċi fil-kamra.
Dawn it-traċċi ġejjin prinċipalment minn:
Depożizzjoni ta 'materjal sputtered mill-mira, adeżjoni u akkumulazzjoni ta' prodotti ta 'reazzjoni, kopertura alternata ta' materjali multipli
Maż-żmien, il-ħajt ta 'ġewwa tal-kamra m'għadux il-metall oriġinali, iżda saff ta' films komposti li huma kontinwament superimposti u jevolvu.
Aktar importanti minn hekk, dan il-film mhuwiex "stabbli" u se jkompli jipparteċipa fi proċessi sussegwenti, bħal re-sputtering, depożizzjoni mill-ġdid, u re-reazzjoni.
Fi kliem ieħor, il-wiċċ tal-kamra innifsu sar parti mill-proċess tal-manifattura.
2. L-ambjent tal-gass huwa wkoll "mfakkar"
Il-kamra mhix biss "film li qed jikber", iżda wkoll "li żżomm l-arja".
Fwar tal-ilma, ossiġnu, u gassijiet tal-proċess residwi se jkomplu jiġu adsorbiti fuq il-wiċċ tal-kamra.
Fi proċessi sussegwenti, dawn il-gassijiet jistgħu jiġu rilaxxati u jerġgħu jidħlu fil-plażma.
Il-karatteristiċi ta 'dan il-proċess huma:
Mhux kompletament kontrollabbli. Relatati ħafna mat-temperatura, il-ħin, u l-istatus ta 'skarika. Id-differenzi se jseħħu f'lottijiet differenti.
Ir-riżultat huwa:
Anke jekk ir-rata tal-fluss tal-gass hija ssettjata biex tkun konsistenti, l-atmosfera attwalment involuta fir-reazzjoni tista 'tkun differenti.
3. Il-Mogħdija tal-Kwittanza Gradwalment "Jissewwi"
Il-ħruġ mhuwiex stabbli mill-bidu; pjuttost, gradwalment tifforma struttura fuq operazzjoni fit-tul-.
Hekk kif il-proċess jiġi ripetut: Xi reġjuni jżommu l-iskariku aktar faċilment; oħrajn jiddgħajfu gradwalment; id-distribuzzjoni tal-plażma għandha tendenza lejn "mogħdija abitwali." Dan il-proċess huwa essenzjalment jistabbilixxi "struttura stabbli."
Ladarba jkun iffurmat, ikollu impatt kontinwu fuq il-proċessi sussegwenti.
4. Għaliex il-problemi huma l-aktar probabbli li jseħħu meta jinbidlu l-proċessi?
Meta proċess jinbidel, l-oriġinali "stat stabbli" huwa mfixkel: Materjali ġodda jkopru s-saff ta ' depożitu antik; is-sistema tal-gass tinbidel; l-istruttura tal-plażma tqassam mill-ġdid. Madankollu, dawn il-bidliet mhumiex immedjati iżda pjuttost proċess transitorju.
Matul dan il-proċess: Is-sistema la hija fl-"stat antik" u lanqas daħlet fi "stat stabbli ġdid."
Għalhekk, iseħħ il-fenomenu tipiku: L-ewwel ftit lottijiet juru varjazzjonijiet sinifikanti, segwiti minn stabbilizzazzjoni gradwali.
5. Għaliex it-tindif huwa ugwali għal "resetting memorja"?
Il-funzjoni tat-tindif mhix biss li tneħħi l-ħmieġ, iżda aktar importanti, li:
Neħħi d-depożiti
Tfixkel il-bilanċ tal-assorbiment tal-gass
Irrisettja l-mogħdijiet tal-iskariku
Mill-perspettiva tas-sistema, huwa ekwivalenti għal:
Tneħħi kompletament-stati akkumulati fit-tul.
Allura wara t-tindif:
L-esperjenza tas-sengħa oriġinali m'għadhiex applikabbli għal kollox u jeħtieġ li jiġi stabbilit mill-ġdid bilanċ ġdid{0}}.
6. Fehim Aktar Fundamentali
Kieku kellna niġbru fil-qosor dan il-fenomenu f'sentenza waħda, jista 'jinftiehem kif ġej: Is-sistema PVD mhix "sistema ta' input/output mingħajr memorja", iżda pjuttost sistema dinamika influwenzata kontinwament mill-istorja.
Il-parametri huma biss parti mill-input, filwaqt li l-"istat tal-kamra" innifsu huwa varjabbli impliċitu li qed jevolvi kontinwament.
7. Sommarju
Il-formazzjoni tal-"memorja tal-istat" tal-kamra essenzjalment tirriżulta minn tliet proċessi fit-tul -superimposti: l-evoluzzjoni kontinwa tas-saff tad-depożitu tal-ħajt ta 'ġewwa, iċ-ċiklu kontinwu ta' adsorbiment u rilaxx tal-gass, u s-solidifikazzjoni gradwali tal-mogħdija ta 'skarika matul proċessi ripetuti. Dawn il-fatturi jaħdmu flimkien biex is-sistema turi "dipendenza fuq l-istorja" ċara.
8. Konklużjoni ewlenija: L-istat ta 'kwittanza li tara kull darba mhuwiex fil-fatt ir-riżultat tal-parametri attwali, iżda s-superpożizzjoni tal-parametri attwali u l-istati storiċi akkumulati.
