Magna tal-kisi sputtering magnetron

Il-prinċipju tax-xogħol tal-magnetron sputtering tal-magna tal-kisi tal-vakwu tas-serje CJ huwa li "sputtering" huwa li tibbumbardja oġġett b'partiċelli enerġetiċi (ġeneralment joni pożittivi tal-gass), u b'hekk jikkawżaw l-atomi fuq il-wiċċ tal-oġġett biex jaħarbu mill-matriċi.

Sa mill-1842, Grove skopra dan il-fenomenu fil-laboratorju. Il-mira sputtering tal-magnetron tuża kamp elettromanjetiku statiku, u l-kamp manjetiku huwa mgħawweġ. Il-kamp elettriku uniformi u l-kamp elettriku logaritmiku jintużaw għall-mira tal-pjan u l-mira ċilindrika koassjali rispettivament.

Taħt l-azzjoni tal-kamp elettriku, l-elettroni jaħbtu ma 'atomi ta' argon fil-proċess ta 'aċċellerazzjoni għas-sottostrat. Jekk l-elettroni jkollhom biżżejjed enerġija (madwar 30ev), AR + se jiġu jonizzati u l-elettroni jiġu ġġenerati. L-elettroni jtiru lejn is-sottostrat. Taħt l-azzjoni tal-kamp elettriku, AR + huwa aċċellerat biex itir lejn il-katodu (mira sputtering) u ibbumbardja l-wiċċ fil-mira b'enerġija għolja, u jikkawża li l-materjal fil-mira jitbaxxa.

Huwa użat ħafna f'apparat tad-dar, arloġġi, kapijiet tal-golf, arti u snajja, ġugarelli, rifletturi tad-dawl tal-karozzi, qxur tal-buttuni tat-telefon ċellulari, strumenti u miters, plastik, ħġieġ, ċeramika, madum u kisi dekorattiv tal-wiċċ ieħor u kisi funzjonali għal għodda u moffa.

 

Għandu vantaġġi fl-oqsma tal-plating ultra-iswed film, film dekorattiv tad-deheb pur, film konduttiv, eċċ.

Il-ħxuna tal-film hija kontrollabbli u ripetibbli.

Jista 'jiddepożita b'mod affidabbli film ta' ħxuna predeterminata, u kisi sputtering jista 'jikseb ħxuna uniformi tal-film fuq wiċċ kbir.

Il-film għandu adeżjoni qawwija mas-sottostrat.

Xi atomi sputtered b'enerġija għolja jipproduċu gradi differenti ta 'injezzjoni, li jiffurmaw saff ta' psewdo-diffużjoni fuq is-sottostrat fejn l-atomi sputtered u l-atomi tas-substrat jwaħħlu ma 'xulxin.

Preparazzjoni ta 'films irqaq ta' materjali speċjali.

Films imħallta u films komposti jistgħu jiġu ppreparati billi sputtering materjali differenti fl-istess ħin. Films tad-deheb imitazzjoni tal-landa jistgħu wkoll jiġu sputtered.

Il-film għandu purità għolja u l-film sputtered mhux se jitħallat mal-komponenti tal-materjal tal-heater tal-griġjol.

Mgħammar b'sors awżiljarju ta 'joni ta' temperatura baxxa, jista 'jifforma films permezz ta' plating kiesaħ f'temperatura tal-kamra mingħajr tisħin, iffrankar ta 'enerġija u elettriku, u jtejjeb il-kapaċità ta' produzzjoni.