1. Frekwenza tar-radju (RF) – is-sors ta' enerġija għal PECVD
Fi kliem sempliċi, il-frekwenza tar-radju (RF) hija l-forza li tmexxi PECVD; jiddetermina jekk il-plażma tistax tiġi ġġenerata, kemm hi qawwija l-ġenerazzjoni, u kemm hi għolja l-effiċjenza tad-depożizzjoni.
2. Glow discharge-l-"espressjoni" tal-plażma
Glow discharge huwa fenomenu tad-dawl viżibbli li jseħħ b'mod naturali wara li l-plażma tkun eċċitata.
Meta gass jiġi jonizzat fil-plażma permezz ta 'kamp elettriku ta' frekwenza tar-radju, l-elettroni ġewwa se jaqbżu kontinwament bejn livelli ta 'enerġija għolja u baxxi. Dan il-proċess jirrilaxxa fotoni. Meta numru kbir ta 'fotoni jingħaqdu flimkien, jiffurmaw id-dawl li naraw mit-tieqa ta' osservazzjoni, li tissejjaħ glow.
It-tiddix la hija dekorazzjoni u lanqas prodott sekondarju; tirrifletti direttament l-istat veru tal-plażma.
Gassijiet differenti, parametri, u kundizzjonijiet tal-kamra se jirriżultaw f'varjazzjonijiet fil-kulur, luminożità, u uniformità tad-dija tal-plażma. Tiddix stabbli jindika plażma b'saħħitha, filwaqt li t-teptip jew tiddix anormali jindika problema bit-tagħmir jew il-proċess.
Fil-qosor, discharge glow hija l-espressjoni u l-lingwa tal-plażma, li l-inġiniera jużaw biex jiġġudikaw jekk it-tagħmir huwiex b'saħħtu u l-proċess huwiex stabbli.
Glow jista 'jkun ta' kuluri differenti.
Il-kulur tad-dawl ivarja skond il-gass.
Neon (Ne): Jarmi dawl aħmar klassiku-oranġjo (dawl tan-neon)
Argon (Ar): jarmi dawl blu-vjola.
Nitroġenu (N2): jarmi dawl roża-vjola.
Ossiġenu (O2): jarmi dawl isfar ċar jew abjad.
Fwar tas-sodju (Na): jarmi dawl isfar qawwi ħafna.
2. Relazzjoni bejn il-frekwenza tar-radju u l-iskarigu li jkandi
Il-frekwenza tar-radju u l-iskarigu li jkandi mhumiex żewġ affarijiet indipendenti, iżda pjuttost għandhom relazzjoni kawżali, relazzjoni simbjotika u relazzjoni ta 'monitoraġġ.
Il-frekwenza tar-radju tipprovdi enerġija u hija l-kawża tal-formazzjoni tal-plażma.
L-iskariku li jleqq jakkumpanja d-dehra tal-plażma u huwa manifestazzjoni esterna tal-plażma.
Mingħajr frekwenza tar-radju, m'hemm l-ebda plażma, u għalhekk l-ebda tiddix.
In-nuqqas ta 'tiddix stabbli u uniformi jindika trasmissjoni fqira tal-enerġija tal-frekwenza tar-radju, distribuzzjoni irregolari tal-kamp elettriku, u kundizzjoni anormali tal-kamra.
3. L-aktar sommarju sempliċi
Il-frekwenza tar-radju (RF) hija l-qalba tal-enerġija tal-PECVD, responsabbli għall-ġenerazzjoni u l-kontroll tal-plażma.
Glow discharge hija espressjoni tal-istat tal-plażma u hija responsabbli biex tirrifletti jekk il-proċess huwiex stabbli.
Jekk il-frekwenza tar-radju hija stabbli, id-discharge glow tkun stabbli.
L-iskariku ta 'glow stabbli jiżgura kwalità stabbli tal-film.
