Il-kisi tal-jone juża skariku tal-gass taħt kundizzjonijiet ta 'vakwu biex jonizza l-gass jew il-materjal evaporat. Taħt il-bumbardament ta 'jonji tal-gass jew joni tal-materjal li jevapora, il-materjal evaporat jew ir-reaġenti tiegħu huma depożitati fuq il-biċċa tax-xogħol. Dan jinkludi magnetron sputtering jone plating, kisi tal-jone reattiv, kisi tal-jone vojta minn ġewwa ta 'discharge cathode (evaporazzjoni tal-katodu vojta), u multi-arc jone plating (plating tal-jone tal-ark tal-katodu). Il-kisi tal-joni jgħaqqad l-iskariku li jkandi u t-teknoloġija tal-plażma ma 'evaporazzjoni bil-vakwu, itejjeb b'mod sinifikanti l-prestazzjoni tal-kisi u jespandi l-applikazzjoni tiegħu. Minbarra li taqsam il-vantaġġi tal-vacuum sputtering, il-kisi tal-jone joffri adeżjoni qawwija tal-film, proprjetajiet ta 'diffrazzjoni eċċellenti, u firxa wiesgħa ta' materjali tal-kisi.
Konsegwentement, esperjenzat żvilupp mgħaġġel kemm domestikament kif ukoll internazzjonalment f'dawn l-aħħar snin. Il-prinċipju bażiku tal-kisi tal-jone huwa li jiġi jonizzat il-fwar tal-metall jew tal-liga bl-użu ta 'skariku ta' glow jew ark minn gass inert. Il-kisi tal-joni jinvolvi t-tisħin, l-evaporazzjoni u d-depożizzjoni tal-materjal tal-kisi (bħal TiN u TiC).
Hekk kif l-atomi tal-materjal tal-kisi evaporat jgħaddu miż-żona glow, porzjon żgħir isir jonizzat u, taħt l-influwenza tal-kamp elettriku, itir lejn il-biċċa tax-xogħol, jolqot il-wiċċ b'enerġiji ta 'diversi eluf ta' elettron volt. Jistgħu jippenetraw is-sottostrat sa fond ta 'diversi nanometri, u jtejbu b'mod sinifikanti l-adeżjoni tal-kisi. L-atomi tal-materjal evaporat unjonizzati huma depożitati direttament fuq il-biċċa tax-xogħol biex jiffurmaw film. L-isputtering ta 'jonji tal-gass inerti u joni tal-materjal tal-kisi fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol ineħħi wkoll il-kontaminanti, u b'hekk ittejjeb l-adeżjoni.
It-teknoloġiji użati minn magni tal-kisi bil-vakwu tal-jone, magni tal-kisi tal-evaporazzjoni u magni tal-kisi tal-magnetron sputtering huma differenti. Dawn il-prinċipji tat-teknoloġija tal-kisi għandhom ukoll il-vantaġġi tagħhom stess. Jistgħu jintgħażlu metodi ta 'kisi differenti skont il-biċċa tax-xogħol tal-kisi u s-saff tal-film biex tissodisfa d-domanda tas-suq.
